涉外仲裁爭議的當事人將爭議提交仲裁后，仲裁機構會按一定程序進行審理，做出裁決。我國涉外仲裁程序制度由民事訴訟法第二十八章關于涉外仲裁的規定。仲裁法第七章關于涉外仲裁的特別規定和《中國國際貿易仲裁委員會仲裁規則》、《中國海事仲裁委員會仲裁規則》的規定構成。

(一)申請與受理

申請人提出仲裁申請時應提交仲裁申請書，并附具申請人請求所依據的事實的證明文件，按照仲裁委員會制定的仲裁費用表的規定預交仲裁費。仲裁申請書應寫明下列內容：(1)申請人與被申請人的名稱和住所;(2)申請人所依據的仲裁協議;(3)案情和爭議要點;(4)申請人的請求所依據的事實和理由及證據。

仲裁委員會收到申請人的仲裁申請書及其附件后，應在一定期限內進行審查，認為符合受理條件的，應當受理，并通知當事人;認為不符合受理條件的，應當書面通知當事人不予受理，并說明理由。

被申請人應在收到仲裁通知之日起45天內向仲裁委員會和書局提交答辯書和有關證明文件。仲裁機構收到答辯書后，應當在仲裁規則規定的期限內將答辯書副本送達申請人。被申請人未提交答辯書，不影響仲裁程序的進行。

被申請人可以承認或者反駁仲裁請求，有權提出反請求。被申請人如提出反請求，最遲應在收到仲裁通知之日起60天內以書面形式提交仲裁委員會。仲裁庭認為有正當理由的，可以適當延長此期限。被申請人提出反請求時，應在反請求中寫明具體的反請求及所依據的事實和理由，并附具有關的證明文件。被申請人提出反請求時，應當按照仲裁委員會的仲裁費用表的規定預繳仲裁費。申請人對被申請人的反請求未提出書面答辯的，也不影響仲裁程序的進行。

當事人可以委托仲裁代理人辦理有關的仲裁事項;接受委托的仲裁代理人，應向仲裁委員會提交授權委托書。中國公民和外國公民均可以接受委托，擔任仲裁代理人。

(二)保全措施

一方當事人因另一方當事人的行為或者其他原因，可能使仲裁不能執行或者難以執行的，可以申請財產保全，仲裁委員會應當將當事人的申請提交被申請人住所地或其財產所在地的人民法院作出裁定。申請有錯誤的，申請人應當賠償被申請人因財產保全所遭受的損失。按仲裁法第68條規定，當事人申請證據保全，仲裁委員會應當將當事人的申請提交證據所在地的中級人民法院作出裁定。

(三)仲裁庭的組成

在中國國際經濟貿易仲裁委員會進行涉外仲裁時，仲裁庭可以由3名仲裁員或者1名仲裁員組成。仲裁庭組成后，仲裁委員會應將仲裁庭的組成情況書面通知當事人。